微型機械加工技術發展現狀和趨勢及其關鍵技術

星形聯軸器  詳細信息	鼓形齒式聯軸器  詳細信息	金屬膜片聯軸器  詳細信息	十字軸萬向聯軸器  詳細信息
梅花形彈性聯軸器  詳細信息	彈性柱銷齒式聯軸器  詳細信息	WH型滑塊連軸器  詳細信息	SL十字滑塊聯軸器  詳細信息
彈性套柱銷聯軸器  詳細信息	彈性套柱銷聯軸器  詳細信息	滾子鏈聯軸器  詳細信息	KC鏈輪聯軸器(現貨供應)  詳細信息
彈性柱銷聯軸器  詳細信息	夾殼聯軸器  詳細信息	L型聯軸器  詳細信息	HRC彈性聯軸器  詳細信息
脹緊聯結套、錐套  詳細信息	LAK鞍形塊彈性聯軸器  詳細信息	DL多角形橡膠聯軸器  詳細信息	橡膠輪胎聯軸器  詳細信息
小型十字軸萬向聯軸器  詳細信息	鼓形齒式聯軸器  詳細信息	蛇形彈簧聯軸器  詳細信息	夾緊式--十字滑塊聯軸器  詳細信息
平行聯軸器  詳細信息	螺紋聯軸器  詳細信息	波紋管聯軸器  詳細信息	編碼器聯軸器  詳細信息
彈簧螺旋鋼聯軸器  詳細信息	液力偶合器  詳細信息	超越離合器  詳細信息	軸承座  詳細信息
逆止器  詳細信息	制動器  詳細信息	水泵用聯軸器  詳細信息	金屬膜片聯軸器  詳細信息
鏈輪磨擦式安全聯軸器  詳細信息	凸緣聯軸器  詳細信息	芯型彈性聯軸器  詳細信息	制動輪  詳細信息
軸類加工  詳細信息	鏈輪、齒輪加工  詳細信息	磁性聯軸器  詳細信息	扭力限制器  詳細信息

　　--微型機械加工技術概念

　　微型機械加工或稱微型機電系統或微型系統是只可以批量制作的、集微型機構、微型傳感器、微型執行器以及信號處理和控制電路、甚至外圍接口、通訊電路和電源等于一體的微型器件或系統。其主要特點有：體積小(特征尺寸范圍為：1μm-10mm)、重量輕、耗能低、性能穩定；有利于大批量生產，降低生產成本；慣性小、諧振頻率高、響應時間短；集約高技術成果，附加值高。微型機械的目的不僅僅在于縮小尺寸和體積，其目標更在于通過微型化、集成化、來搜索新原理、新功能的元件和系統，開辟一個新技術領域，形成批量化產業。

　　微型機械在國外已受到政府部門、企業界、高等學校與研究機構的高度重視。美國MIT、Berkeley、Stanford\AT&T和的15名科學家在上世紀八十年代末提出"小機器、大機遇：關于新興領域--微動力學的報告"的國家建議書，聲稱"由于微動力學(微系統)在美國的緊迫性，應在這樣一個新的重要技術領域與其他國家的競爭中走在前面"，建議中央財政預支費用為五年5000萬美元，得到美國領導機構重視，連續大力投資，并把航空航天、信息和MEMS作為科技發展的三大重點。美國宇航局投資1億美元著手研制"發現號微型衛星"，美國國家科學基金會把MEMS作為一個新崛起的研究領域制定了資助微型電子機械系統的研究的計劃，從1998年開始，資助MIT，加州大學等8所大學和貝爾實驗室從事這一領域的研究與開發，年資助額從100萬、200萬加到1993年的500萬美元。1994年發布的《美國國防部技術計劃》報告，把MEMS列為關鍵技術項目。美國國防部高級研究計劃局積極領導和支持MEMS的研究和軍事應用，現已建成一條MEMS標準工藝線以促進新型元件/裝置的研究與開發。美國工業主要致力于傳感器、位移傳感器、應變儀和加速度表等傳感器有關領域的研究。很多機構參加了微型機械系統的研究，如康奈爾大學、斯坦福大學、加州大學伯克利分校、密執安大學、威斯康星大學、老倫茲得莫爾國家研究等。加州大學伯克利傳感器和執行器中心(BSAC)得到國防部和十幾家公司資助1500萬元后，建立了1115m2研究開發MEMS的超凈實驗室。

　　日本通產省1991年開始啟動一項為期10年、耗資250億日元的微型大型研究計劃，研制兩臺樣機，一臺用于醫療、進入人體進行診斷和微型手術，另一臺用于工業，對飛機發動機和原子能設備的微小裂紋實施維修。該計劃有筑波大學、東京工業大學、東北大學、早稻田大學和富士通研究所等幾十家單位參加。

　　歐洲工業發達國家也相繼對微型系統的研究開發進行了重點投資，德國自1988年開始微加工十年計劃項目，其科技部于1990～1993年撥款4萬馬克支持"微系統計劃"研究，并把微系統列為本世紀初科技發展的重點，德國首創的LIGA工藝，為MEMS的發展提供了新的技術手段，并已成為三維結構制作的優選工藝。法國1993年啟動的7000萬法郎的"微系統與技術"項目。歐共體組成"多功能微系統研究網絡NEXUS"，聯合協調46個研究所的研究。瑞士在其傳統的鐘表制造行業和小型精密機械工業的基礎上也投入了MEMS的開發工作，1992年投資為1000萬美元。英國政府也制訂了納米科學計劃。在機械、光學、電子學等領域列出8個項目進行研究與開發。為了加強歐洲開發MEMS的力量，一些歐洲公司已組成MEMS開發集團。

　　目前已有大量的微型機械或微型系統被研究出來，例如：尖端直徑為5μm的微型鑷子可以夾起一個紅血球，尺寸為7mm×7mm×2mm的微型泵流量可達250μl/min能開動的汽車，在磁場中飛行的機器蝴蝶，以及集微型速度計、微型陀螺和信號處理系統為一體的微型慣性組合(MIMU)。德國創造了LIGA工藝，制成了懸臂梁、執行機構以及微型泵、微型噴嘴、濕度、流量傳感器以及多種光學器件。美國加州理工學院在飛機翼面粘上相當數量的1mm的微梁，控制其彎曲角度以影響飛機的空氣動力學特性。美國大批量生產的硅加速度計把微型傳感器(機械部分)和集成電路(電信號源、放大器、信號處理和正檢正電路等)一起集成在硅片上3mm×3mm的范圍內。日本研制的數厘米見方的微型車床可加工精度達1.5μm的微細軸。

齒輪泵技術

三爪聯軸器，水泵聯軸器撓性聯軸器
　　 具有一定的補償被聯兩軸軸線相對偏移的能力，最大量隨型號不同而異。
　　 無彈性元件的撓性聯軸器：承載能力大，但也不具有緩沖減震性能，連軸器在高速或轉速不穩定或經常正、反轉時，有沖擊噪聲。適用于低速、重載、轉速平穩的場合。
　　 非金屬彈性元件的撓性聯軸器 在轉速不平穩時有很好的緩沖減震性能；但由于非金屬（橡膠、尼龍等）彈性元件強度低、壽命短、承載能力小、不耐高溫和低溫，故適用于高速、輕載和常溫的場合 。
　　 金屬彈性元件的撓性聯軸器：除了具有較好的緩沖減震性能外，承載能力較大，聯軸器適用于速度和載荷變化較大及高溫或低溫場合。